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同轴驱动CHUCK | ||
可以升级做射频测试 | ||
20X~4000X 光学显微放大 | ||
无后座力移动 | ||
可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置 | ||
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规格 | ||
真空吸附型Chuck | 6" 不锈钢 | |
Chuck X-Y轴行程 | 6" x6" | |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
Chuck升降 | 4mm | |
针座平台 | 可以放置8个针座 | |
显微镜X-Y轴行程 | 2" x2" | |
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需求 | ||
电力 | 220 VAC, 60Hz | |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
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尺寸 | ||
920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜) | ||
重 100 Kg(带显微镜) | ||
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可选附件 | ||
激光切割 | ||
探针卡夹具 | ||
加热台 | ||
高低温样品台 防震桌 | ||
显微镜气动升降装置 | ||
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 | ||
光强/波长测试接口部件 | ||
射频测试探头和线缆 | ||
有源探头 | ||
低电流/电容测试 | ||
高压测试 | ||
CCD视频系统 | ||
液晶漏电分析套装 | ||
黑箱 | ||
大电流测试套件 镀金Chuck | ||
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