KT-Z165M4LT精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面*可升温到*400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

温控器

加热温度 ;高温型 35-400℃ 低温型 室温- -50℃

注意：热台温度和样品温度存在偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。

温控误差 :±1℃

热电偶类型 :PT100高精度传感器

温控表 :宇电PID温控器

程序控温 :1段（可选30段程序控温表）

加热功率 :≤300W

加热电源 :AC220v

尺寸 :230x230x125MM

重量 :6kg

真空探针热台

腔体材质 :304不锈钢

加工方式 :一体式CNC精加工

内腔体尺寸 :137X57X21mm 容积165ML

加热台尺寸 :Φ35mm

观察窗内径 ：45mm

观察窗材质 ：透光石英玻璃

信号输出头 ：SMA母头 配线 SMA转BNC 1.5米

电学性能 :绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V

抽气口 :KF16

进气口 :6MM卡套

使用正压 :≤O.05MPa

使用负压 :机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa

可扩展配件 : 气体液体注射口   4芯电信号接头    8芯电信号接头

SMA905 光纤接口 :  扩展5KV高压电极    升级30段控温仪表

移动探针

探针规格 :  探针粗Φ0.5mm 探针尖 10μm   

上下移动距离 : 2.5mm

前后移动距离 :±10mm

左右旋转距离 :120°